坩埚升降机构
转载 2010-02-21 13:10 国家知识产权局 来源:国家知识产权局| 申 请 号: | 200920070823.6 | 申 请 日: | 2009.04.21 |
| 名 称: | 坩埚升降机构 | ||
| 公 开 (公告) 号: | CN201402043 | 公开(公告)日: | 2010.02.10 |
| 主 分 类 号: | F27B14/10(2006.01)I | 分案原申请号: | |
| 分 类 号: | F27B14/10(2006.01)I | ||
| 颁 证 日: | 优 先 权: | ||
| 申请(专利权)人: | 上海汉虹精密机械有限公司 | ||
| 地 址: | 200444上海市宝山区城市工业园区山连路188号 | ||
| 发 明 (设计)人: | 吴智洪;徐永亮;贺贤汉 | 国 际 申 请: | |
| 国 际 公 布: | 进入国家日期: | ||
| 专利 代理 机构: | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代 理 人: | 陈学雯 |
| 摘要 |
| 一种坩埚升降机构,包括机架、坩埚转轴、磁流体和磁流体安装座,所述机架设置为采用矩形管与钢板混合焊接成门型结构;所述机架设置线性导轨,所述线性导轨之间设置筒型的磁流体安装座,所述磁流体安装座内设置磁流体,所述磁流体安装座与滚珠丝杆连接;所述滚珠丝杆一端与机架连接,所述滚珠丝杆另一端与减速器连接;所述减速器通过进行切换的电磁离合器与慢速升降电机连接,所述减速器也与快速升降电机连接;所述滚珠丝杆设置带动磁流体安装座上下运动的螺母。机架为高刚性的门型结构,筒型铸件的磁流体安装座具有高刚性,并保证重量分散作用和减震作用。滚珠丝杆、线性导轨保证快速和慢速上升时的稳定性,不发生蠕动现象。 |
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